осаждение из паровой фазы

См. также в других словарях:

• осаждение из паровой фазы — Процесс покрытия, разновидность осаждения материала в виде индивидуальных атомов или молекул. Наиболее общие PVD методы включают разбрызгивание и испарение. Разбрызгивание, которое является главным процессом PVD, использует перенос материала от… …   Справочник технического переводчика

• Осаждение из паровой фазы — Physical vapor deposition (PVD) Осаждение из паровой фазы. Процесс покрытия, разновидность осаждения материала в виде индивидуальных атомов или молекул. Наиболее общие PVD методы включают разбрызгивание и испарение. Разбрызгивание, которое… …   Словарь металлургических терминов

• осаждение из паровой фазы — garinis nusodinimas statusas T sritis radioelektronika atitikmenys: angl. evaporation deposition; vapor deposition; vapor phase deposition vok. Abscheidung aus der Dampfphase, f; Dampfphasenabscheidung, f rus. осаждение из паровой фазы, n pranc.… …   Radioelektronikos terminų žodynas

• плазмохимическое осаждение из паровой фазы — Химическое осаждение из паровой фазы при низком давлении с использованием ВЧ энергии. — [http://www.cscleansystems.com/glossary.html] Тематики полупроводниковые приборы EN PECVDplasma enhanced chemical vapor deposition …   Справочник технического переводчика

• быстрое термохимическое осаждение из паровой фазы — Термически ускоренный процесс химического осаждения из паровой фазы, выполняемый при высокой температуре, но за очень короткое время. [http://www.cscleansystems.com/glossary.html] Тематики полупроводниковые приборы EN RTCVDrapid thermal chemical… …   Справочник технического переводчика

• избирательное химическое осаждение из паровой фазы — Процесс химического осаждения из паровой фазы, при котором тонкопленочный материал осаждается только в выбранных местах на поверхности подложки; избирательность осаждения управляется химическим составом поверхности, который можно локально… …   Справочник технического переводчика

• химическое осаждение из паровой фазы металлоорганических соединений — Процесс химического осаждения из паровой фазы, при котором используются металлоорганические соединения, термически разлагающиеся при температурах более низких, чем другие металлосодержащие соединения; метод часто используется при эпитаксиальном… …   Справочник технического переводчика

• химическое осаждение из паровой фазы при атмосферном давлении — Процесс химического осаждения из паровой фазы, выполняемый при атмосферном давлении; результатом обычно бывает низкое качество пленки и низкая конформность по сравнению с аналогичным процессом при низком давлении (LPCVD).… …   Справочник технического переводчика

• химическое осаждение из паровой фазы при низком давлении — Процесс химического осаждения из паровой фазы, выполняемый при пониженном (по сравнению с атмосферным) давлении [http://www.cscleansystems.com/glossary.html] Тематики полупроводниковые приборы EN LPCVDLow Pressure Chemical Vapor Deposition …   Справочник технического переводчика

• химическое осаждение из паровой фазы —  Chemical Vapor Deposition  (CVD)  Химическое осаждение из паровой фазы   Метод нанесения покрытий, в котором химические вещества сначала испаряются, а затем осаждаются на поверхность с помощью инертного газа носителя, такого как азот. Например,… …   Толковый англо-русский словарь по нанотехнологии. - М.

• Химическое осаждение из паровой фазы — 1. Химическое осаждение из паровой фазы (CVD) процесс нанесения внешнего покрытия или покрытия с модификацией поверхности подложки, когда металл, сплав, композиционный материал, диэлектрик или керамика осаждается на нагретую подложку.… …   Официальная терминология